クリーンルームは、多くの研究室で使用する必要のある特別な実験室であり、グレードが異なりますので、クリーンルームの裝飾が終わった後、どのようにグレードをテストするのですか？

クリーンルームでの試験には、空調(diào)試験、靜的試験、動(dòng)的試験の3種類があり、以下にそれぞれの違いと試験方法を紹介します。

空の狀態(tài)のテスト：クリーンルームが建設(shè)を完了し、浄化された空調(diào)システムが正常に動(dòng)作しており、テストは部屋にプロセス機(jī)器と製造擔(dān)當(dāng)者がいない狀態(tài)で行われます。

靜的テスト：クリーンルームの空気浄化システムは正常に動(dòng)作しており、プロセス機(jī)器が設(shè)置されており、テストは部屋に生産要員がいなくても行われます。

動(dòng)的テスト：クリーンルームは、通常の製造條件下でテストされています。

クリーンルーム內(nèi)の風(fēng)量、風(fēng)速、陽圧、溫度、濕度、騒音の検出は、一般一般空調(diào)の関連規(guī)定に準(zhǔn)じて行うことができます。

クリーンルームは、多くの研究室で使用する必要のある特別な実験室であり、グレードが異なりますので、クリーンルームの裝飾が終わった後、どのようにグレードをテストするのですか？

クリーンルームでの試験には、空調(diào)試験、靜的試験、動(dòng)的試験の3種類があり、以下にそれぞれの違いと試験方法を紹介します。

空の狀態(tài)のテスト：クリーンルームが建設(shè)を完了し、浄化された空調(diào)システムが正常に動(dòng)作しており、テストは部屋にプロセス機(jī)器と製造擔(dān)當(dāng)者がいない狀態(tài)で行われます。

靜的テスト：クリーンルームの空気浄化システムは正常に動(dòng)作しており、プロセス機(jī)器が設(shè)置されており、テストは部屋に生産要員がいなくても行われます。

動(dòng)的テスト：クリーンルームは、通常の製造條件下でテストされています。

クリーンルーム內(nèi)の風(fēng)量、風(fēng)速、陽圧、溫度、濕度、騒音の検出は、一般一般空調(diào)の関連規(guī)定に準(zhǔn)じて行うことができます。

1。テスト前の準(zhǔn)備

1.クリーンルームとそのクリーンエアコンディショナーシステムを完全に清掃する必要があります。

2。 高効率エアフィルターの漏れ検知試験には光散亂式パーティクルカウンターを使用しています。まず、高効率エアフィルターの風(fēng)上側(cè)の靜圧ボックスまたはエアダクト內(nèi)の粒子サイズが0.5μm以上のダスト粒子の數(shù)が30,000個(gè)/リットル以上であることを確認(rèn)します。それでも十分でない場合は、煙を?qū)毪筏皮椤ⅴ戛`ク検出を開始できます。パーティクルカウンターまたはリーク検出デバイスのサンプリングポートは、HEPAフィルターから2?3 cm離れており、2?4 cm /秒の速度で移動(dòng)でき、HEPAフィルターヘッドの全セクションと取り付けフレームがスキャンされます。

パーティクルカウンタが、エアポートが0.5μm以上のダスト粒子が3個(gè)/分?リットルを超えているか、その浸透率が0.01 greaterを超えていると読み取った場合、この場所で明らかな漏れがあると見なされ、漏れをブロックする必要があります。

2。テストコンテンツ

1.総給気量、総還気量、外気量、排気量など。

2.クリーンルームの圧力値;

3.層流クリーンルームの斷面風(fēng)速と気流方向。

4.清潔な作業(yè)エリアの清潔さ。

5.室內(nèi)の溫度、濕度、制御能力の調(diào)整テスト。

6.クリーンルームの騒音。

3。クリーンワークエリアでの空気清浄度のテスト方法

粒徑が0.5μm以上のダスト粒子をカウントするには、光散亂粒子カウント法を使用する必要があります。または、フィルター顕微鏡カウント法を使用することもできます。

光散亂粒子計(jì)數(shù)法：

1。 光散亂粒子カウンターのサンプリング量100：各サンプリング量は1リットル以上です。クラス1,000?10,000：各サンプリング量は0.3リットル以上です。クラス100,000：各サンプリング量は0.1リットル以上です。クラス100のクリーンルームの場合、テストには大流量パーティクルカウンターを使用する必要があります。條件が満たされない場合は、サンプリングボリュームが1リットル以上のパーティクルカウンターを使用できます。

2.サンプリングに関する考慮事項(xiàng)：

①サンプリングチューブは清潔である必要があり、接続部の漏れは固く禁じられています。

②試料採取管の長さは、機(jī)器の許容長さに応じてください。指定されていない場合、1.5メートルを超えてはなりません。

③サンプリング管の風(fēng)速はクリーンルーム部の平均風(fēng)速に近いこと。テスターは、サンプリングポートの風(fēng)下側(cè)にある必要があります。

④サンプリングは、低粉塵濃度から高濃度粉塵の順に実施してください。

3.測定ポイントのレイアウト：

①試験はクリーンワークエリアで行います。製造プロセスに特別な要件がない場合、サンプリングの高さは地上1メートルでなければなりません。

②層流クリーンルーム內(nèi)の計(jì)測點(diǎn)の総數(shù)は20點(diǎn)以上、計(jì)測點(diǎn)間の距離は0.5?2.0メートル、粒子徑0.5μm以上の粉塵は1點(diǎn)を超えてはならない。水平層流クリーンルームの測定點(diǎn)は、最初のクリーン作業(yè)エリアにのみ配置されます。

③亂流クリーンルームは、50平方メートル以下のクリーンエリアに応じて5點(diǎn)の測定點(diǎn)を配置できます。追加の20-50平方メートルごとに、3-5の測定點(diǎn)を追加します。

4.データ照合：

①各測定點(diǎn)のデータソートは、試験機(jī)が安定して稼働している狀態(tài)で3回連続してサンプリングし、その點(diǎn)の実測値である平均値をとります。

②塵埃數(shù)が0.5μm以上の場合：各測定點(diǎn)の最大値は層流クリーンルームで、各測定點(diǎn)の平均値は亂流クリーンルームで測定。

4つの正の圧力値は、最大0.01 mmの水柱の精度でマイクロマノメーターで測定する必要があります。

1。テスト前の準(zhǔn)備

1.クリーンルームとそのクリーンエアコンディショナーシステムを完全に清掃する必要があります。

2。 高効率エアフィルターの漏れ検知試験には光散亂式パーティクルカウンターを使用しています。まず、高効率エアフィルターの風(fēng)上側(cè)の靜圧ボックスまたはエアダクト內(nèi)の粒子サイズが0.5μm以上のダスト粒子の數(shù)が30,000個(gè)/リットル以上であることを確認(rèn)します。それでも十分でない場合は、煙を?qū)毪筏皮椤ⅴ戛`ク検出を開始できます。パーティクルカウンターまたはリーク検出デバイスのサンプリングポートは、HEPAフィルターから2?3 cm離れており、2?4 cm /秒の速度で移動(dòng)でき、HEPAフィルターヘッドの全セクションと取り付けフレームがスキャンされます。

パーティクルカウンタが、エアポートが0.5μm以上のダスト粒子が3個(gè)/分?リットルを超えているか、その浸透率が0.01 greaterを超えていると読み取った場合、この場所で明らかな漏れがあると見なされ、漏れをブロックする必要があります。

2。テストコンテンツ

1.総給気量、総還気量、外気量、排気量など。

2.クリーンルームの圧力値;

3.層流クリーンルームの斷面風(fēng)速と気流方向。

4.清潔な作業(yè)エリアの清潔さ。

5.室內(nèi)の溫度、濕度、制御能力の調(diào)整テスト。

6.クリーンルームの騒音。

3。クリーンワークエリアでの空気清浄度のテスト方法

粒徑が0.5μm以上のダスト粒子をカウントするには、光散亂粒子カウント法を使用する必要があります。または、フィルター顕微鏡カウント法を使用することもできます。

光散亂粒子計(jì)數(shù)法：

1。 光散亂粒子カウンターのサンプリング量100：各サンプリング量は1リットル以上です。クラス1,000?10,000：各サンプリング量は0.3リットル以上です。クラス100,000：各サンプリング量は0.1リットル以上です。クラス100のクリーンルームの場合、テストには大流量パーティクルカウンターを使用する必要があります。條件が満たされない場合は、サンプリングボリュームが1リットル以上のパーティクルカウンターを使用できます。

2.サンプリングに関する考慮事項(xiàng)：

①サンプリングチューブは清潔である必要があり、接続部の漏れは固く禁じられています。

②試料採取管の長さは、機(jī)器の許容長さに応じてください。指定されていない場合、1.5メートルを超えてはなりません。

③サンプリング管の風(fēng)速はクリーンルーム部の平均風(fēng)速に近いこと。テスターは、サンプリングポートの風(fēng)下側(cè)にある必要があります。

④サンプリングは、低粉塵濃度から高濃度粉塵の順に実施してください。

3.測定ポイントのレイアウト：

①試験はクリーンワークエリアで行います。製造プロセスに特別な要件がない場合、サンプリングの高さは地上1メートルでなければなりません。

②層流クリーンルーム內(nèi)の計(jì)測點(diǎn)の総數(shù)は20點(diǎn)以上、計(jì)測點(diǎn)間の距離は0.5?2.0メートル、粒子徑0.5μm以上の粉塵は1點(diǎn)を超えてはならない。水平層流クリーンルームの測定點(diǎn)は、最初のクリーン作業(yè)エリアにのみ配置されます。

③亂流クリーンルームは、50平方メートル以下のクリーンエリアに応じて5點(diǎn)の測定點(diǎn)を配置できます。追加の20-50平方メートルごとに、3-5の測定點(diǎn)を追加します。

4.データ照合：

①各測定點(diǎn)のデータソートは、試験機(jī)が安定して稼働している狀態(tài)で3回連続してサンプリングし、その點(diǎn)の実測値である平均値をとります。

②塵埃數(shù)が0.5μm以上の場合：各測定點(diǎn)の最大値は層流クリーンルームで、各測定點(diǎn)の平均値は亂流クリーンルームで測定。

4つの正の圧力値は、最大0.01 mmの水柱の精度でマイクロマノメーターで測定する必要があります。