クリーンルームは、多くの研究室で使用する必要のある特別な実験室であり、グレードが異なりますので、クリーンルームの裝飾が終わった後、どのようにグレードをテストするのですか？
クリーンルームでの試験には、空調試験、靜的試験、動的試験の3種類があり、以下にそれぞれの違いと試験方法を紹介します。
空の狀態のテスト：クリーンルームが建設を完了し、浄化された空調システムが正常に動作しており、テストは部屋にプロセス機器と製造擔當者がいない狀態で行われます。
靜的テスト：クリーンルームの空気浄化システムは正常に動作しており、プロセス機器が設置されており、テストは部屋に生産要員がいなくても行われます。
動的テスト：クリーンルームは、通常の製造條件下でテストされています。
クリーンルーム內の風量、風速、陽圧、溫度、濕度、騒音の検出は、一般一般空調の関連規定に準じて行うことができます。
クリーンルームは、多くの研究室で使用する必要のある特別な実験室であり、グレードが異なりますので、クリーンルームの裝飾が終わった後、どのようにグレードをテストするのですか？
クリーンルームでの試験には、空調試験、靜的試験、動的試験の3種類があり、以下にそれぞれの違いと試験方法を紹介します。
空の狀態のテスト：クリーンルームが建設を完了し、浄化された空調システムが正常に動作しており、テストは部屋にプロセス機器と製造擔當者がいない狀態で行われます。
靜的テスト：クリーンルームの空気浄化システムは正常に動作しており、プロセス機器が設置されており、テストは部屋に生産要員がいなくても行われます。
動的テスト：クリーンルームは、通常の製造條件下でテストされています。
クリーンルーム內の風量、風速、陽圧、溫度、濕度、騒音の検出は、一般一般空調の関連規定に準じて行うことができます。
1。テスト前の準備
1.クリーンルームとそのクリーンエアコンディショナーシステムを完全に清掃する必要があります。
2。 高効率エアフィルターの漏れ検知試験には光散亂式パーティクルカウンターを使用しています。まず、高効率エアフィルターの風上側の靜圧ボックスまたはエアダクト內の粒子サイズが0.5μm以上のダスト粒子の數が30,000個/リットル以上であることを確認します。それでも十分でない場合は、煙を導入してから、リーク検出を開始できます。パーティクルカウンターまたはリーク検出デバイスのサンプリングポートは、HEPAフィルターから2?3 cm離れており、2?4 cm /秒の速度で移動でき、HEPAフィルターヘッドの全セクションと取り付けフレームがスキャンされます。
パーティクルカウンタが、エアポートが0.5μm以上のダスト粒子が3個/分?リットルを超えているか、その浸透率が0.01 greaterを超えていると読み取った場合、この場所で明らかな漏れがあると見なされ、漏れをブロックする必要があります。
2。テストコンテンツ
1.総給気量、総還気量、外気量、排気量など。
2.クリーンルームの圧力値;
3.層流クリーンルームの斷面風速と気流方向。
4.清潔な作業エリアの清潔さ。
5.室內の溫度、濕度、制御能力の調整テスト。
6.クリーンルームの騒音。
3。クリーンワークエリアでの空気清浄度のテスト方法
粒徑が0.5μm以上のダスト粒子をカウントするには、光散亂粒子カウント法を使用する必要があります。または、フィルター顕微鏡カウント法を使用することもできます。
光散亂粒子計數法：
1。 光散亂粒子カウンターのサンプリング量100：各サンプリング量は1リットル以上です。クラス1,000?10,000：各サンプリング量は0.3リットル以上です。クラス100,000：各サンプリング量は0.1リットル以上です。クラス100のクリーンルームの場合、テストには大流量パーティクルカウンターを使用する必要があります。條件が満たされない場合は、サンプリングボリュームが1リットル以上のパーティクルカウンターを使用できます。
2.サンプリングに関する考慮事項：
①サンプリングチューブは清潔である必要があり、接続部の漏れは固く禁じられています。
②試料採取管の長さは、機器の許容長さに応じてください。指定されていない場合、1.5メートルを超えてはなりません。
③サンプリング管の風速はクリーンルーム部の平均風速に近いこと。テスターは、サンプリングポートの風下側にある必要があります。
④サンプリングは、低粉塵濃度から高濃度粉塵の順に実施してください。
3.測定ポイントのレイアウト：
①試験はクリーンワークエリアで行います。製造プロセスに特別な要件がない場合、サンプリングの高さは地上1メートルでなければなりません。
②層流クリーンルーム內の計測點の総數は20點以上、計測點間の距離は0.5?2.0メートル、粒子徑0.5μm以上の粉塵は1點を超えてはならない。水平層流クリーンルームの測定點は、最初のクリーン作業エリアにのみ配置されます。
③亂流クリーンルームは、50平方メートル以下のクリーンエリアに応じて5點の測定點を配置できます。追加の20-50平方メートルごとに、3-5の測定點を追加します。
4.データ照合：
①各測定點のデータソートは、試験機が安定して稼働している狀態で3回連続してサンプリングし、その點の実測値である平均値をとります。
②塵埃數が0.5μm以上の場合：各測定點の最大値は層流クリーンルームで、各測定點の平均値は亂流クリーンルームで測定。
4つの正の圧力値は、最大0.01 mmの水柱の精度でマイクロマノメーターで測定する必要があります。
1。テスト前の準備
1.クリーンルームとそのクリーンエアコンディショナーシステムを完全に清掃する必要があります。
2。 高効率エアフィルターの漏れ検知試験には光散亂式パーティクルカウンターを使用しています。まず、高効率エアフィルターの風上側の靜圧ボックスまたはエアダクト內の粒子サイズが0.5μm以上のダスト粒子の數が30,000個/リットル以上であることを確認します。それでも十分でない場合は、煙を導入してから、リーク検出を開始できます。パーティクルカウンターまたはリーク検出デバイスのサンプリングポートは、HEPAフィルターから2?3 cm離れており、2?4 cm /秒の速度で移動でき、HEPAフィルターヘッドの全セクションと取り付けフレームがスキャンされます。
パーティクルカウンタが、エアポートが0.5μm以上のダスト粒子が3個/分?リットルを超えているか、その浸透率が0.01 greaterを超えていると読み取った場合、この場所で明らかな漏れがあると見なされ、漏れをブロックする必要があります。
2。テストコンテンツ
1.総給気量、総還気量、外気量、排気量など。
2.クリーンルームの圧力値;
3.層流クリーンルームの斷面風速と気流方向。
4.清潔な作業エリアの清潔さ。
5.室內の溫度、濕度、制御能力の調整テスト。
6.クリーンルームの騒音。
3。クリーンワークエリアでの空気清浄度のテスト方法
粒徑が0.5μm以上のダスト粒子をカウントするには、光散亂粒子カウント法を使用する必要があります。または、フィルター顕微鏡カウント法を使用することもできます。
光散亂粒子計數法：
1。 光散亂粒子カウンターのサンプリング量100：各サンプリング量は1リットル以上です。クラス1,000?10,000：各サンプリング量は0.3リットル以上です。クラス100,000：各サンプリング量は0.1リットル以上です。クラス100のクリーンルームの場合、テストには大流量パーティクルカウンターを使用する必要があります。條件が満たされない場合は、サンプリングボリュームが1リットル以上のパーティクルカウンターを使用できます。
2.サンプリングに関する考慮事項：
①サンプリングチューブは清潔である必要があり、接続部の漏れは固く禁じられています。
②試料採取管の長さは、機器の許容長さに応じてください。指定されていない場合、1.5メートルを超えてはなりません。
③サンプリング管の風速はクリーンルーム部の平均風速に近いこと。テスターは、サンプリングポートの風下側にある必要があります。
④サンプリングは、低粉塵濃度から高濃度粉塵の順に実施してください。
3.測定ポイントのレイアウト：
①試験はクリーンワークエリアで行います。製造プロセスに特別な要件がない場合、サンプリングの高さは地上1メートルでなければなりません。
②層流クリーンルーム內の計測點の総數は20點以上、計測點間の距離は0.5?2.0メートル、粒子徑0.5μm以上の粉塵は1點を超えてはならない。水平層流クリーンルームの測定點は、最初のクリーン作業エリアにのみ配置されます。
③亂流クリーンルームは、50平方メートル以下のクリーンエリアに応じて5點の測定點を配置できます。追加の20-50平方メートルごとに、3-5の測定點を追加します。
4.データ照合：
①各測定點のデータソートは、試験機が安定して稼働している狀態で3回連続してサンプリングし、その點の実測値である平均値をとります。
②塵埃數が0.5μm以上の場合：各測定點の最大値は層流クリーンルームで、各測定點の平均値は亂流クリーンルームで測定。
4つの正の圧力値は、最大0.01 mmの水柱の精度でマイクロマノメーターで測定する必要があります。
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