クリーンルームの構(gòu)築は非常に複雑なプロジェクトです。クリーンルームを構(gòu)築するには、非常に専門(mén)的なチームだけでなく、クリーンルームを理解するための専門(mén)知識(shí)も必要です。クリーンルームを理解するには、クリーンルームから始めることができます。クリーンルームをより完全かつ包括的に理解できるように、専門(mén)用語(yǔ)から始めます。クリーンルームにおける専門(mén)用語(yǔ)の意味を説明しましょう。
1、クリーンルームおよび関連する制御された環(huán)境
クリーンルームとそれに関連する、補(bǔ)助的な、関連する開(kāi)いたまたは閉じた?jī)?nèi)部または周辺スペース、およびスペース內(nèi)の浮遊粒子濃度などのパラメータも、関連する規(guī)格によって制御されます。
2、一方向フロークリーンルーム
部屋の作業(yè)領(lǐng)域の斷面全體のクリーンルームを通過(guò)する一方向の流れ、平行な流線、および均一で安定した速度の流れ。
3、非一方向フロークリーンルーム
は、流線が平行でなく、方向が単一ではなく、速度が不均一で、交差回転を伴う亂気流が部屋の作業(yè)領(lǐng)域の斷面全體を流れるクリーンルームを指します。亂流クリーンルームとも呼ばれます。
4、混合フロークリーンルーム
一方向の流れと非一方向の流れの2種類(lèi)のクリーンルームがあります。
5、小屋の清掃
クリーンワークシェッドは、地域の高度にクリーンな環(huán)境を提供できる空気浄化裝置です。それは主にキャビネット、ファン、プライマリエアフィルター、減衰層、ランプなどで構(gòu)成され、シェルにはプラスチックがスプレーされます。コンパクトな構(gòu)造で使いやすく、地面に吊るして支えることができます。単獨(dú)または複數(shù)の接続で使用して、帯狀のクリーンエリアを形成できます。
6、エアロゾル
空気中に浮遊、固體または液體、活性物質(zhì)または不活性物質(zhì)、粒子サイズは10nm?100μmの範(fàn)囲です。
7、バイオエアロゾル
空気中に浮遊する小さな固體または液體の粒子の分散システム。
8、プランクトン
空気中に浮遊する細(xì)菌粒子。
9、バクテリアの沈降
表面に付著する細(xì)菌粒子_。
10、エアゾールをテストする
気體狀態(tài)で懸濁した固體または液體の粒子は、既知の制御された粒子サイズ分布と濃度を持っています。
11、漏れ
エアフィルターシステムの完全性の欠如または欠陥によって引き起こされる汚染物質(zhì)の汚染により、透過(guò)する汚染物質(zhì)は風(fēng)下濃度の予測(cè)値を超えます。
12、リーク検出
フィルターとユニットコンポーネントをリークさせる方法を見(jiàn)つけます。つまり、エアロゾル光度計(jì)または光學(xué)粒子カウンターを使用して、スキャン領(lǐng)域が重複しているテスト領(lǐng)域をスキャンします。
13、超クリーンワークベンチ
ウルトラクリーンワークベンチは、現(xiàn)代の産業(yè)、オプトエレクトロニクス産業(yè)、バイオ醫(yī)薬品、科學(xué)研究、実験の分野における現(xiàn)地の作業(yè)領(lǐng)域の清浄度要件を満たすように設(shè)計(jì)されています。ファンを介してプレフィルターに空気を吸い込み、靜圧ボックスを介して高効率フィルターに入り、濾過(guò)し、縦または橫の気流の狀態(tài)で濾過(guò)空気を送り、作業(yè)範(fàn)囲が100レベルの清浄度に達(dá)し、環(huán)境のクリーン化を?qū)g現(xiàn)します。請(qǐng)求。
14、靜的
すべてが完成し、完全な設(shè)備が整っています。浄化空調(diào)システムは正常に動(dòng)作しており、現(xiàn)場(chǎng)に人員はいません。このとき、生産設(shè)備が設(shè)置されており、クリーンルームが稼働していない、または生産設(shè)備が停止しており、一定時(shí)間経過(guò)後にセルフクリーニングがクリーンルーム狀態(tài)になった、またはビルダー(ユーザー)とビルダーが合意した方法でクリーンルームが稼働している。狀態(tài)。クリーンルームの3つの占有狀態(tài)(空、靜的、動(dòng)的)の1つです。
15、高純度ガス
ガス成分の純度が99.9995%以上で、水分が5ppm未満のガス。
16、精製水
は、25°Cの溫度で抵抗率が0.1×10 ^6Ω?cmを超える水を指します。
17、高純度水
は、溫度が25℃の場(chǎng)合、抵抗率が0.1×10 ^6Ω?cmを超え、水中で0.5μm以上のダスト粒子が300粒子/ ml未満、生きている微生物が9粒子/ ml未満であることを意味します。純水。
18、大きな(マクロ)粒子
同等の直徑が5μmを超える粒子。
19、超微粒子
0.1μm未満の相當(dāng)直徑を持つ粒子。
20、永久ガス
空気、酸素、窒素、ヘリウム、メタン、酸化炭素など、臨界溫度が-10℃未満のガス。
21、特殊ガス
単一ガスまたは混合ガスを含む、ガスの特定の用途を満たすため。電子ガスは115種類(lèi)、有機(jī)ガスは63種類(lèi)、無(wú)機(jī)ガスは35種類(lèi)、ハロカーボンガスは29種類(lèi)、同位體ガスは17種類(lèi)の259種類(lèi)の単一ガスがあります。
22、醫(yī)療用ガス
醫(yī)療規(guī)制の要件を満たし、醫(yī)療の治療、診斷、予防に使用されるガス。
23、クリーンガス
単位體積に含まれる粒子の量は、このガスのクリーンな環(huán)境で使用される一般的なガス以下です。
24、分子狀汚染物質(zhì)
酸性ガス、アルカリ性ガス、凝縮性有機(jī)物質(zhì)、半導(dǎo)體用ドーパント、揮発性の高い有機(jī)物質(zhì)や分子など、分子量レベルが空気中に含まれている汚染物質(zhì)グレードメタル等
25、清潔さ
清浄度とは、空気環(huán)境の空気に含まれるほこりの程度を指します。
26、領(lǐng)域をきれいにする
空気浮遊粒子濃度が制御された限られた空間、その構(gòu)築と使用により、空間への粒子の導(dǎo)入と生成、粒子の滯留、要件に応じた溫度、濕度、圧力など、空間內(nèi)の他の関連パラメータを減らす必要があります制御のために、クリーンエリアは開(kāi)いていても閉じていてもかまいません。